품목분류사례
Machines-tool for working any material by removal of material, by plasma arc ; Dry Etch ; SE-series
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이미지 준비중물품설명
ㅇ 고진공 Process Chamber내에서 주로 a-Si, SiNx 증착막을 식각하는 제조장치 ㅇ 진공상태의 Dry Etcher내에서 Process Gas 및 RF고주파인가로 Plasma 방전을 이용하여 Glass위의 증착막을 식각함
결정이유
ㅇ 본기기는 미세패턴형성을 위해 높은 에너지의 RF장으로 부터 플라스마상태를 만든 후, 플라스마장의 에너지는 용기내의 가스분자를 높은 에너지준위로 여기시켜 증착막과 반응시켜 Glass위의 증착막을 식각하는 장비로 ㅇ 8456호해설서의 플라스마등을 이용하여 약정된 공구로 재료를 제거하는 플라스마 건식식각장비로 ...