품목분류사례
Other Optical instruments and appliances ; CD Meter ; ZA- 2000HDS
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이미지 준비중물품설명
ㅇ TFT LCD제조공정에서 LCD Glass상에 형성된 패턴과 칼라필터의 선폭을 측정하는 장비 - Wet etching후 유리의 패턴길이를 측정하여 금속막의 식각정도를 확인, 그 변화량을 일정주기로 관찰하여 이상발생시 타공정 및 설비에 의한 불량발생 유무를 조기에 감지할 목적으로 사용 ㅇ 장비는 광학현미경과...
결정이유
ㅇ 본 기기의 측정부는 광학현미경, CCTV카메라(확대, 측정부 촬영등)로 이루어지고 있으며 ㅇ 주기능 여부에 있어서 광학현미경으로 본다는 견해가 있을 수 있으나 ㅇ 선폭측정 등을 위한 화상처리(image processor)방법에 의한 이미지프로세서의 기능은 9011해설서“이 호의 광학현미경은 이미 확대된 물...